来源:苏州工业园区天和仪器有限公司 发布日期:2026.06.23
先进制程(28nm 及以下)要求控温精度 ±0.1℃以内,温度波动超过 ±0.5℃会导致晶圆良率下降 30% 以上;碳化硅长晶等高温工艺需耐受 2300℃以上极端环境,同时精确控制轴向 / 径向温度梯度。
晶圆制造:光刻胶涂覆 / 曝光、薄膜沉积(CVD/PVD)、离子注入、刻蚀、氧化扩散炉
芯片封装:晶圆减薄、键合、塑封、固化
环境控制:洁净车间温湿度稳定、光刻机镜头冷却、晶圆台恒温
TH200 系列高精度多段控制器:0.05 级测量精度,10ms 高速采样,搭载 AI 自适应 PID 算法,可将光刻工艺温度波动控制在 ±0.08℃以内
TKS 系列高精度温湿度变送器:±0.3℃/±2% RH 测量精度,洁净型外壳设计,适配百级 / 千级洁净车间
多回路巡检仪:支持 32 路同步采集,实时监测晶圆炉各温区温度均匀性,数据可追溯 10 年以上
芯片良率提升 3%-5%,减少百万级废品损失
工艺重复性提高 90%,满足先进制程量产要求
实现设备远程监控与故障预警,降低运维成本 40%
正负极材料烧结需控温精度 ±1℃以内,温度偏差会导致材料电化学性能下降 30%;注液 / 化成工序要求湿度≤1% RH,温度波动 ±0.5℃,否则会引发电池胀气、短路甚至热失控。
极片制造:涂布、烘干、辊压、分切
电芯生产:注液、化成、分容、老化
材料制备:正负极材料烧结、前驱体干燥
PACK 组装:电池模组焊接、热管理系统测试
M40-XS 系列模块化温控器:一卡四路设计,支持 64 温区独立控制,适配辊道炉、真空烘箱等多温区设备
TH200 系列程序控制器:50 段可编程温度曲线,精准匹配磷酸铁锂 / 高镍三元材料烧结工艺
TKS 系列露点变送器:测量范围 - 80℃~+20℃露点,实时监测注液车间干燥环境
电池一致性提升 20%,循环寿命延长 15%
烧结能耗降低 18%,单 GWh 产能节电超百万度
实现全流程数据追溯,满足新能源汽车安全法规要求
热流道系统各温区温差需≤0.5℃,否则会导致多腔模具产品重量偏差超过 0.3g;PET、PC 等工程塑料加工温度窗口窄,温度波动 ±2℃就会出现发黄、浇口雾化、翘曲变形等缺陷。
热流道注塑:PET 瓶胚、汽车零部件、医疗耗材、电子连接器
挤出成型:管材、板材、薄膜生产
吹塑成型:塑料瓶、中空容器
辅助工艺:模具温度控制、原料干燥
M20 系列热流道控制器:10 吋全彩触摸屏,集成温度控制与针阀时序控制,支持 64 温区集中管理
HRTC 系列插卡式温控卡:针对热流道优化的独有 PID 算法,控温精度 ±0.3℃,内置加热器短路 / 过载保护
TBC/TFC 系列经济型温控器:双排双色 LED 显示,一卡双控设计,性价比优异,适合通用注塑场景
注塑产品合格率从 97% 提升至 99.3% 以上
换模调试时间缩短 60%,设备综合效率 (OEE) 提升 12%
热流道系统能耗降低 15%-20%,延长模具使用寿命 30%
全系列产品覆盖:从单点温控到 64 温区集中控制,从经济型到高端智能型,满足不同行业、不同规模企业需求
工业级可靠性:产品年平均返修率 < 0.3%,适应高温、高湿、强电磁干扰等恶劣工业环境
灵活的系统集成:全系列支持 Modbus、Profinet 等工业通讯协议,可无缝对接 PLC、MES 系统
定制化服务能力:可根据客户特殊工艺需求开发专用温控算法和硬件方案